Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0216U006940, 0115U006717 , Науково-дослідна робота Назва роботи Виготовлення експериментальних взірців і дослідження високотемпературної дифузії фосфору і бору в кремній з твердих планарних джерел Назва етапу роботи Керівник роботи Островський Ігор Петрович, Дата реєстрації 01-08-2016 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Виготовлено експериментальні взірці і досліджено високотемпературну дифузію фосфору і бору в кремній з твердих планарних джерел на основі алюмоборосилікатних сполук на термостійких підкладках для легування кремнію в технологічних процесах виготовлення напівпровідникових приладів та зінтегрованих схем. Створені джерела дають змогу отримувати однорідні дифузійні шари в інтервалі температур 950-1050 °С. Розроблені джерела фосфору і бору на основі фосфоросилікатних, алюмоборосилікатних сполук економічні у виготовленні в порівнянні з існуючими аналогами, а технологія їх створення не має обмежень щодо діаметра. Опис продукції Науково-технічна продукція являє собою експериментальні взірці з твердих планарних джерел на основі алюмоборосилікатних сполук, отриманих високотемпературною дифузією фосфору і бору в кремній на термостійких підкладках для технологічних процесів виготовлення напівпровідникових приладів та зінтегрованих схем Автори роботи Богдановський Ю.М. Мищишин В.М. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Виготовлення експериментальних взірців і дослідження високотемпературної дифузії фосфору і бору в кремній з твердих планарних джерел
Керівник: Островський Ігор Петрович. Виготовлення експериментальних взірців і дослідження високотемпературної дифузії фосфору і бору в кремній з твердих планарних джерел. (Етап: ). Національний університет "Львівська політехніка". № 0216U006940
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку