Реєстраційний номер
0216U010324,
0116U005667
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Теоретичне та експериментальне дослідження механізмів струмопереносу в омічних контактах до n+ та n+-n-Si з сильним виродженням електронів в приконтактній області
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Конакова Р.В.,
Дата реєстрації
03-01-2017
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис етапу
Запропоновано новий механізм струмопереносу, згідно якого відповідальними за струмопроходження у контакті до напівпровідника з великою концентрацією дислокацій на межі розділу є металеві шунти, суміщені з дислокаціями, при обмеженні струму дифузійним підводом електронів. З використанням структурних і морфологічних досліджень контактів до сильно легованого n-Si показано, що в процесі формування омічного контакту в тонкому шарі Si при відпалі при Т = 450°С протягом 10 хвилин виникає висока густина структурних дефектів, зокрема, дислокаційних петель (до1010 см-2). За допомогою металографічного аналізу показано, що при відпалюванні контакту ще до виникнення рекристалізованого шару можливе формування металевих шунтів. Запропоновано метод визначення питомого контактного опору при дослідженні вертикальних структур з контактом метал-n+ Si і сходинками легування n+-n і n-n+, який базується на розв'язку рівняння Лапласа. За допомогою зазначеного методу було визначено контактний опір омічних контактів Au-Ti-Pd-n+-n-n+ -Si, який складає біля 10-6 Ом см2. Запропонований метод дозволяє контролювати процес формування меза-структури шляхом дослідження зміни електрофізичних властивостей структури між циклами травлення. Шляхом електрофізичних досліджень показано, що в усіх досліджених зразках шліфованого або полірованого кремнію спостерігається зростання питомого контактного опору з ростом температури, що вказує на реалізацію запропонованого механізму струмопереносу.
Опис продукції
Розроблено новий механізм струмопереносу, проведено чисельне моделювання омічного контакту до напівпровідника зі сходинкою легування, досліджено експериментальні зразки з врахуванням нової моделі. Показано перспективність використання даних обрахунків під час формування меза-структури в виробництві
Автори роботи
Дуб М.М.
Капітанчук Л.М.
Кудрик Я.Я.
Міленін В.Г.
Охріменко О.Б.
Редько Р.А.
Редько С.М.
Романець П.М.
Сай П.О.
Саченко А.В.
Сліпокуров В.С.
Шинкаренко В.В.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
