Реєстраційний номер
0217U000512,
0115U003165
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Технології формування наноструктур для електроніки, медицини та ядерної енергетики методом кластерного реактивного іонно-плазмового синтезу
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Бажин Анатолій Іванович, Доктор фізико-математичних наук
Дата реєстрації
09-02-2017
Організація виконавець
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Опис етапу
Отримані результати розробки нових технологій синтезу композиційних керамічних покриттів та структур за допомогою багатофункціональної кластерної іонно-плазмової системи. Досліджені фізико-механічні характеристики плівок дибориду гафнію, оксидів та нітридів перехідних металів. Розроблено феноменологічну модель формування багатокомпонентних захисних покриттів іонно-плазмовими методами.
Опис продукції
Розроблена технологія формування наноструктурованих елементів методом реактивного іонно-плазмового синтезу в багатофункціональній кластерній установці на основі модулів магнетронного, ВЧ індукційного та ВЧ ємнісного типів.
Автори роботи
Агулов Олександр Володимирович
Бурштинська Лідія Валентинівна
Гончаров Олександр Андрійович
Дудін Станіслав Валентинович
Зиков Олександр Юрійович
Кривонос Володимир Михайлович
Кропотов Олександр Юрійович
Мірошниченко Григорій Олександрович
Молотко Роман В'ячеславович
Петухов Вадим Вікторовия
Пхалагова Наталія Альбертівна
Турбін Петро Васильович
Удовицький Віктор Григорович
Яковін Станіслав Дмитрович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
