Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0217U001135, 0116U006956 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка методики визначення показника заломлення алмазоподібних плівок та оцінки рівня внутрішніх напружень Назва етапу роботи Керівник роботи Маслов Володимир Петрович, Дата реєстрації 24-01-2017 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Звіт про виконання НТР "Розробка методики визначення показника заломлення алмазоподібних плівок та оцінки рівня внутрішніх напружень": 28 с., 14 рис., 13 посилань. Підстави для виконання роботи - НТР "Розробка методики визначення показника заломлення алмазоподібних плівок та оцінки рівня внутрішніх напружень" виконується за договором від 26.07.2016 р. №245. Мета роботи відповідно до ТЗ: розробка методики визначення показника заломлення алмазоподібних плівок. Методи дослідження - загальнонаукові фізичні методи, методи спектрального аналізу, методи системного і порівняльного аналізу. На основі проведених досліджень було: 1. Показана можливість визначення оптичного показника заломлення вуглецевмісних та алмазоподібних наноплівок на скляній підкладці методом поверхневого плазмонного резонансу та модуляційно-поляризаційною методикою. 2. Експериментально досліджено та визначено, що на зразках переданих Замовником 632б та 632в показник заломлення становив 2,508±0,005 RIU, а на зразку631б - становив 2,684±0,005 RIU. 3. ІЧ- спектрометром досліджено тонкі плівки вуглецевих та алмазоподібних шарів на кремнієвих підкладках за схемою відбиття ІЧ-випромінювання. Показано, що наношари, завтовшки 50-150 нм практично не впливають на оптичні властивості, але їх висока механічна міцність та твердість дозволяють використовувати ці наношари, як захисні для оптичних елементі оптико-електронних приладів. 4. Для визначення неруйнівними методами внутрішніх напружень в шарах вуглецевмісних та алмазоподібних наноплівок запропоновані наступні методи: поляризаційний метод та рентгенівський метод. Так як механічні напруження значно зростають при переході від малих до великогабаритних зразків, доцільно продовжити дослідження за цим напрямком на зразках з діаметром від 100 до 300 мм при додаванні зразків порівняння, котрі виготовлені за одним технологічним процесом в одній камері зі зразками, що надаються Замовнику від промисловості. 5. На нове технічне рішення подана заявка на патент України (Оптичне алмазоподібне покриття, заявка № u201611362 від 09.11.2016 р.) Опис продукції Розроблено методики визначення показника заломлення вуглецьвмісних та алмазоподібних наноплівок за допомогою методу поверхневого плазмонного резонансу та модуляційно-поляризаційного методу. Розроблено методику визначення внутрішніх напружень оптичним способом. Автори роботи Андросюк Галина Миколаївна Венгер Євген Федорович Дворніченко Микола Михайлович Дорожинський Гліб Вячеславович Качур Наталія Володимирівна Кудрявцев Олександр Олексійович Кушнір Ганна Василівна Литвин Петро Мар'янович Маслов Володимир Петрович Мороженко Василь Олександрович Стеценко Максим Олександрович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити