Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0217U001219, 0115U000477 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження імпульсних газових розрядів та створення на їх основі обладнання і технологій Назва етапу роботи Керівник роботи Лісовський Валерій Олександрович, Дата реєстрації 31-01-2017 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження: Нерівноважна плазма низького та атмосферного тиску в імпульсних електричних полях. Мета роботи: Розробка фізичних основ для створення нової генерації інноваційних технологій та обладнання на базі імпульсних розрядів. Метод дослідження: комплексні експериментальні та теоретичні дослідження широкого загалу імпульсних розрядів. В звіті представлено результати експериментальних досліджень імпульсних електричних розрядів. Були виміряні осцилограми струму і напруги імпульсного розряду в широкому діапазоні частот (від 20 до 300 кГц), коефіцієнтів заповнення від 15 до 85%, для різних значень тиску чотирьох різних газів - азот, кисень, CF4 і SF6. Було отримано, що осцилограми струму тліючого імпульсного розряду мають плазмову фазу і фазу післясвітіння. Показано, що в імпульсному розряді в електронегативних газах можливо суттєве підсилення струму в порівнянні з розрядом з постійною напругою. При частоті 20 кГц і тиску 0,1 Торр максимальне підсилення (відношення розрядного імпульсного струму до струму при постійній напрузі) отримано для самого електронегативного газу - SF6, підсилення відбувається в 6-8 разів. Для CF4 підсилення становить приблизно 4 рази, а для азоту і кисню підсилення саме незначне в порівнянні з іншими газами - всього в 2 рази. Для частоти 100 кГц і тиску 0,1 Торр найнижче підсилення струму (приблизно в 2 рази) спостерігається для кисню, наступними є азот (в 2-3 рази), CF4 (в 3-4 рази) і SF6 (в 8-9 разів). При тиску газу 1 Торр, частоті 20 кГц коефіцієнти підсилення для азоту і кисню складають приблизно 1-2 рази. Для CF4 4-5, а для SF6 5-15 разів. Опис продукції Імпульсні розряди середньої (десятки-сотні кГц) частоти. Сучасна елементна база електроніки дозволяє створювати середньочастотні джерела коливань прямокутної форми, які придатні для утворення плазми у широкому діапазоні потужностей. Такі джерела мають значно вищий ККД, значно нижчу вартість та значно простіше узгодження з плазмою та керування порівняно з ВЧ системами. Середньочастотні імпульсні розряди використовуються в іонно-плазмових технологіях (плазмове азотування, реактивне магнетронне нанесення, плазмові дисплейні панелі та інші). Автори роботи В. Єгоренков В. Лісовський О. Дахов О. Юнакова С. Дудін Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити