Реєстраційний номер
0217U001222,
0115U000497
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка обладнання та технологій реактивного іонного та іонно-плазмового синтезу складнокомпозиційних покриттів для машинобудування, ядерної енергетики, біомедицини.
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Лісовський Валерій Олександрович,
Дата реєстрації
31-01-2017
Організація виконавець
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
Опис етапу
Об'єкт дослідження: багатофункціональна кластерна іонно-плазмова система з параметрами, що відповідають потребам промислової експлуатації. Мета роботи: дослідження процесів реактивного іонно-плазмового синтезу нанокомпозиційних структур з комбінованих потоків заряджених та хімічно активних частинок та розробка на їх основі нової генерації технологій синтезу багатошарових функціональних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів та структур для потреб наноелектроніки, біомедицини, ядерної енергетики та машинобудування. Метод дослідження: вимірювання параметрів магнетронного та високовольтного ЕН розряду, вивчення структури поверхні та фізичних властивостей синтезованих покриттів. В звіті представлено результати розробки нових технологій синтезу складнокомпозиційних керамічних покриттів та структур за допомогою багатофункціональної кластерної іонно-плазмової системи. Зокрема, проведені дослідження нанесення двошарових покриттів AlN/Al2O3 та складнокомозиційних оксинітридних покриттів ZrON методом реактивного магнетронного синтезу. Також методом фізичного розпилювання складнокомпозиційних мішеней за допомогою джерела іонів типу "Радикал" було відпрацьовано технології синтезу плівок люмінесцентного матеріалу ZnWO4 та біоактивного гідроксиапатиту Ca10(PO4)6(OH)2. На основі результатів проведених досліджень було виконано вдосконалення багатофункціональної кластерної іонно-плазмової технологічної системи та синтезовано високоякісні покриття ZrAlOx.
Опис продукції
Нові технології реактивного іонного та іонно-плазмового синтезу перспективних функціональних покриттів з покращеними параметрами, зокрема, оксидів і нітридів перехідних металів, а також їх комбінацій у складі багатошарових та складнокомпозиційних структур для потреб біомедицини, ядерної енергетики та машинобудування. Ці технології розроблені базуючись на принципово новій концепції поєднання в єдиній системі декількох сумісних джерел потоків атомів, заряджених та хімічно-активних частинок для комплексного впливу на кінетику росту структур.
Автори роботи
В. Лісовський
В. Плетньов
В. Фареник
О. Дахов
О. Зиков
С. Дудін
С. Яковін
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
