Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0217U002147, 0115U003871 , Науково-дослідна робота Назва роботи Новітня плазмооптична система для очищення потоку щільної металевої плазми від мікрокрапель-розробка фільтру для очищення потоку щільной плазми Назва етапу роботи Керівник роботи Стрельницький Володимир Євгенійович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 23-01-2017 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України Опис етапу Звіт: 77 с., 40 рис., 38 посилань. .Макрочастинки, що присутні у потоці дугової плазми, значною мірою погіршують властивості осаджених покриттів. При видаленні макрочастинок з потоку плазми шляхом її сепарування швидкість осадження покриття може значно знижуватися. З метою зменшення негативного впливу макрочастинок на осаджуване покриття та збільшення швидкості осадження розглянуто енергетичний ефект пучка високоенергетичних електронів, що самоузгоджено утворюються всередині циліндричного каналу плазмооптичної системи зі схрещеними електричним та магнітним полями, на випаровування макрочастинок. Високоенергетичні електрони з'являються біля внутрішньої циліндричної поверхні за рахунок вторинної іон-електронної емісії. У цій роботі аналітично досліджено додаткове накачування енергії в потік дугової плазми самоузгоджено створюваним радіально спрямованим пучком електронів високої енергії. Показано, що електрони високої енергії накачують в систему енергію, що є достатньою для випаровування макрочастинок. Створений програмно-апаратний комплекс, що містить модернізований багатоканальний зонд і розроблене для нього програмне забезпечення дають змогу в режимі реального часу оптимізовувати транспортувальні властивості фільтрів і регулювати просторовий розподіл густини іонного компоненту плазми. Результати досліджень дають змогу за допомогою двоканальних фільтрів з певним розподілом магнітних полів осаджувати однорідні за товщиною та складом багатокомпонентні покриття на збільшених (у порівнянні з відомими методами) площинах. Зазначений ефект досягається шляхом змішування потоків плазми від двох катодів більш простого складу, ніж склад одержуваного покриття. Опис продукції Модернізовано багатоканальний зонд і розроблено програмне забезпечення для вимірювання характеристик плазми, що дозволили виконати оптимізацію транспортуючих характеристик фільтра і виміряти просторовий розподіл плазми на виході фільтра в режимі реального часу. Результати досліджень дозволили провести осадження рівнотовщинних і однорідних за складом багатокомпонентних плівок на значно більшій площі в порівнянні з відомими у світі способами за допомогою двоканального фільтра з заданим розподілом магнітного поля. Автори роботи Аксьонов Іван Івановіч Аксьонов Дмитро Сергійович Маслов Василь Іванович Стрельницький Володимир Євгенійович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити