Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0217U002994, 0114U000377 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення метрологічного комплексу для діагностики компонентної бази наноелектроніки методами скануючої зондової мікроскопії Назва етапу роботи Керівник роботи Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 28-12-2017 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є.Лашкарьова НАНУ Опис етапу Для діагностики нових матеріалів був розроблен і створен метрологічний комплекс, засобами якого можна здійснювати тривимірну мікро-/нанотопометрію рельєфів, діагностику локальних наномеханічних, електричних, леофільних та біоадгезивних властивостей мінеральних та органічних пове-рхонь при кімнатних умовах та в рідині. Опис продукції Розроблено метрологічно достовірні методи діагностики локальних електрофізичних параметрів поверхонь на базі багатофункціонального скануючого зондового мікроскопу. розроблені протоколи вимірювань струмів та ємності в наноконтакті металізований зонд атомно-силового мікроскопу - поверхня із врахуванням деформаційних навантажень. Автори роботи Корчовий А.А. Литвин П.М. Прокопенко І.В. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити