Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0217U007339, 0115U002261 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології отримання квантоворозмірних структур та наноструктурованих матеріалів та дослідження їх властивостей Назва етапу роботи Керівник роботи Кідалов Валерій Віталійович, Дата реєстрації 28-12-2017 Організація виконавець Бердянський державний педагогічний університет Опис етапу Вперше отримані плівки SiC на макропоруватій та нанопоруватій поверхні Si методом твердофазної епітаксії. Досліджені властивості плівок SiC методом люмінесценції та комбінаційного розсіювання. Отримані та досліджені властивості прозорих провідних оксідних плівок ZnO, ZnO:Al, SnO2:Sb, SnO2:F методом спрей піролізу на поруватих підкладках Si для сонячних елементів. Золь-гель методом з наступним центрифугування отримані та досліджені властивості плівок CdS на поруватих підкладках CdTe для сонячних елементів. Опис продукції Спосіб отримання сонячних елементів на пористому кремнію методом фотолітографії. Технологічний процес включає формування на підкладці кремнію n-типу провідності суцільного шару n-типу провідності, легованого сурмою, нарощування епітаксійного шару n-типу товщиною 0,2-0,5 мкм, формування маскуючого шару нітриду кремнію, створення в маскуючому шарі методом фотолітографії рисунка монокристалічних областей, плазмохімічне травлення епітаксійного шару до прихованого n-шару, перетворення n+ - прихованого шару в пористий кремній шляхом його селективного анодування на основі фтористоводневої кислоти HF. Автори роботи Бачеріков Ю.Ю. Дяденчук А.Ф. Жук А.Г. Кідалов В.В. Сімченко С.В. Хрипко С.Л. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити