Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0218U001422, 0116U000826 , Науково-дослідна робота Назва роботи Фізичні та механічні властивості шарових нітридних покриттів на основі багатоелементних сплавів Назва етапу роботи Керівник роботи Береснєв Вячеслав Мартинович, Дата реєстрації 13-03-2018 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження - вплив негативного потенціалу зміщення на підкладинці, парціального тиску азоту та умов відпалу на хімічний та структурний стан, а також властивості вакуумно-дугових нітридних покриттів. Предмет дослідження - покриття на основі систем MoN/CrN,TiN/ZrN, (TiZrNbTaHf)N/MoN, (Ti,Al,Si)N/МеN, (TiZrNbTaHf)N/WN. У багатошарових нітридних покриттях (TiZrNbTaHf)N/MoN і (TiZrNbTaHf)N/WN для всіх режимів осадження утворюються фази з кубічними (ГЦК) кристалічними гратами в обох шарах покриттів. Покриття системи (TiZrNbTaHf)N/WN мають твердість 44 ГПа, а покриття системи (TiZrNbTaHf)N/MoN - 41 Гпа. Зменшення робочого тиску азоту від 0,5 Па до 0,09 Па призводить до збіднення покриття MoN/CrN азотом та структурної перебудови покриття. Твердість цих покриттів сягає величини 38 ГПа і знижується зі зменшенням тиску азоту при осадженні та подачі негативного потенціалу зміщення, стимулюючого селективне вторинне розпорошення. Проведено аналіз впливу умов осадження на формування і термічну стабільність багатошарових вакуумно-дугових покриттів на основі TiAlSi шарів. Використання у бішарових багатоперіодичних композиціях других шарів з CrN, MoN, ZrN не змінює тип гратів в нітридних шарах. Опис продукції На основі вивчення фізичних явищ при осадженні вакуумно-дугових багатоелементних нітридних покриттів визначено вплив негативного потенціалу зміщення на підкладинці, парціального тиску азоту та умов відпалу на хімічний та структурний стан, а також властивості вакуумно-дугових нітридних покриттів на основі систем MoN/CrN, TiN/ZrN, (TiZrNbTaHf)N/MoN, (Ti,Al,Si)N/МеN, (TiZrNbTaHf)N/WN. Автори роботи В. Береснєв В. Кіріченко В. Чишкала П. Сребнюк С. Гранкін С. Литовченко Т. Івко У. Нємченко Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити