Реєстраційний номер
0218U002175,
0115U003166
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка та дослідження характеристик імпульсного високочастотного генератора для стимуляції іонно-плазмового осадження покриттів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Фаренік Володимир Іванович,
Дата реєстрації
30-01-2018
Організація виконавець
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Опис етапу
Сформовані наноструктуровані елементи із застосуванням імпульсної ВЧ стимуляції. Визначений вплив ВЧ імпульсів на якісні характеристики наноструктур.
Опис продукції
Високоефективне джерело імпульсної високочастотної напруги для керування іонними процесами формування наноструктурованих елементів.
Автори роботи
Казачкова Наталія Олександрівна
Кривонос Володимир Михайлович
Кропотов Олександр Юрійович
Максименко Володимир Олексійович
Турбін Петро Васильович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
