Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0218U006016, 0117U007604 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження дифузії фосфору в кремній з джерел, що містять пірофосфат цирконію Назва етапу роботи Керівник роботи Островський Ігор Петрович, Дата реєстрації 06-03-2018 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Виготовлено експериментальні зразки і досліджено дифузію фосфору в кремній з джерел, що містять пірофосфат цирконію для легування в технологічних процесах виготовлення напівпровідникових приладів Опис продукції Створено джерела, що містять пірофосфат цирконію, для легування в технологічних процесах виготовлення напівпровідникових приладів Автори роботи Богдановський Юрій Миколайович Качан Степан Іванович Мищишин Володимир Михайлович Нічкало Степан Ігорович Ховерко Юрій Миколацович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити