Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0218U006117, 0116U005093 , Науково-дослідна робота Назва роботи Захист цирконієвих оболонок тепловиділяючих елементів ядерних реакторів карбідом кремнію, отримання полікристалічного кремнію відновленням тетрахлориду атомарним воднем, осадження епітаксійних структур газофазним, плазмохімічним і сублімаційним методами Назва етапу роботи Керівник роботи Широков Борис Михайлович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 22-03-2018 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України Опис етапу Виконано дослідження відновлення тетрахлоріда кремнію в низькотемпературній нерівноважній аргон-водородний плазмі індукційного розряду. Расчитано опір плазми при різних потужностях, що вкладаються в розряд. Спектральним аналізом встановлено, що в розряді присутній атомарний водень, реакційна здатність якого вище молекулярного. Термодинамічний розрахунок відновлення тетрахлоріда кремнію атомарним воднем показав, що процес протікає з енергетичними витратами нижче, ніж при відновленні молекулярним воднем. Досліджено легування кремнію фосфором і бором, в процесі плазмохимічного відновлення тетрахлоріда кремнію. Вивчено вплив концентрації легуючих домішок на електричні і оптичні властивості конденсатів. Опис продукції Виконано розрахунки та вивчено вплив концентрації легуючих домішок на електричні і оптичні властивості конденсатів. Встановлено параметри процесу відновлення тетрахлоріда кремнію в низькотемпературній нерівноважній аргон-водородной плазмі індукційного розряду. Автори роботи Євсюков Олексій Ігоревич Бакай Катерина Сергеевна Дериземля Анатолій Миколайович Журавльов Олександр Юрьевич Зуєва Татьяна Миколаевна Капустін Віталій Леонідович Крохмаль Сергей Олександрович Мартиненко Віктор Григорович Пелипець Юрий Олександрович Радченко Володимир Іванович Семенов Микола Олександрович Стригуновський Сергей Олександрович Суща Аліна Анатольевна Хижняк Дмитрий Олександрович Хованський Микола Олександрович Широков Борис Михайлович Шиян Олександр Васильович Щербакова Валентина Володимирівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Захист цирконієвих оболонок тепловиділяючих елементів ядерних реакторів карбідом кремнію, отримання полікристалічного кремнію відновленням тетрахлориду атомарним воднем, осадження епітаксійних структур газофазним, плазмохімічним і сублімаційним методами
Керівник: Широков Борис Михайлович. Захист цирконієвих оболонок тепловиділяючих елементів ядерних реакторів карбідом кремнію, отримання полікристалічного кремнію відновленням тетрахлориду атомарним воднем, осадження епітаксійних структур газофазним, плазмохімічним і сублімаційним методами. (Етап: ). Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України. № 0218U006117
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку