Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0218U006131, 0115U002772 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення установки для виготовлення елементів рентгенівської оптики з використанням протонної літографії Назва етапу роботи Керівник роботи Возний Віталій Іванович, Дата реєстрації 23-03-2018 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис етапу Створена установка для отримання багатошарових рентгенівських дзеркал та дифракційних граток для рентгенівської мікроскопії в діапазоні довжин хвиль 1 нм. Модернізовано магнетронну приставку ВУП-5М для підвищення потужності магнетронів та збільшення робочої площі поверхні розпилення. Отримано контрольні плівки міді та вуглецю при різних режимах роботи магнетронної приставки та різного тиску робочого газу аргону. Визначено елементний склад, товщину та однорідність плівок Cu і С на підкладці з монокристалічного кремнію та ситалу методом PIXE та RBS. Підготовлено підкладки для фазових дифракційних граток: монокристалічний кремній з двошаровим покриттям Cu/Ti, отриманий методом магнетронного розпилення, та нанесено фоторезист ПММА на їх поверхню. Опромінено мішені з фоторезистом ПММА на каналі ядерного скануючого мікрозонда, проведено травлення опромінених областей та досліджено поверхню зразків методом растрової електронної мікроскопії. Опис продукції Установка для отримання багатошарових рентгенівських дзеркал та дифракційних граток для рентгенівської мікроскопії в діапазоні довжин хвиль 1 нм. Застосування тонкоплівкових покриттів дозволяє використовувати малопотужні джерела рентгенівського випромінювання та збільшити просторову роздільну здатність мікроскопа. Автори роботи Возний Віталій Іванович Колінько Сергій Володимирович Коломієць Володимир Миколайович Кононенко Ірина Миколаївна Кравченко Сергій Миколайович Марченко Андрій Миколайович Пономарьов Олександр Григорович Ребров Володимир Анатолійович Саливон Вадим Феліксович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити