Реєстраційний номер
0218U008036,
0118U000271
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Двовимірні періодичні наноструктури кремнію для МЕМС-сумісних інтегрованих мікроперетворювачів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Єрохов Валерій Юрійович,
Дата реєстрації
04-01-2019
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
розроблення високоефективних фото- та термоелектричних перетворювачів шляхом дослідження електрофізичних характеристик у широкому інтервалі температур мікро- та наноструктур на основі кремнію,сумісних з існуючою технологією кремнієвої мікроелектроніки
Опис продукції
Розроблені технологічні засади отримання пористих мікро- та наноструктур Si, Ge, мультикристалічних структур кремнію методами CVD, MacEt., які включають: технологічні засади створення регулярних ансамблів нанокрапок благородних металів на кремнієвій підкладці; технологічні засади створення регулярних ансамблів ниткоподібних кристалів на основі кремнію, які дозволяють здійснювати прогнозований вибір розміру, форми та періодичності мікро- та наноструктур, що забезпечує максимальне поглинання світла у видимому діапазоні і дасть можливість виготовити антивідбивні поверхні сонячних елементів, які не мають аналогів.
Автори роботи
Єрохов В.Ю.
Буджак Я.С.
Гарасим І.Д.
Голиборода С.М.
Дружинін А.О.
Кучерепа Н.І.
Лук'янченко А.І.
Лях-Кагуй Н.С.
Мищишин В.М.
Нічкало С.І.
Остапів О.Ю.
Островський І.П.
Стасів В.М.
Темірова О.Х.
Ховерко Ю.М.
Чекайло М.В.
Шпак Д.В.
Щербань Н.О.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
