Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0218U008036, 0118U000271 , Науково-дослідна робота Назва роботи Двовимірні періодичні наноструктури кремнію для МЕМС-сумісних інтегрованих мікроперетворювачів Назва етапу роботи Керівник роботи Єрохов Валерій Юрійович, Дата реєстрації 04-01-2019 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу розроблення високоефективних фото- та термоелектричних перетворювачів шляхом дослідження електрофізичних характеристик у широкому інтервалі температур мікро- та наноструктур на основі кремнію,сумісних з існуючою технологією кремнієвої мікроелектроніки Опис продукції Розроблені технологічні засади отримання пористих мікро- та наноструктур Si, Ge, мультикристалічних структур кремнію методами CVD, MacEt., які включають: технологічні засади створення регулярних ансамблів нанокрапок благородних металів на кремнієвій підкладці; технологічні засади створення регулярних ансамблів ниткоподібних кристалів на основі кремнію, які дозволяють здійснювати прогнозований вибір розміру, форми та періодичності мікро- та наноструктур, що забезпечує максимальне поглинання світла у видимому діапазоні і дасть можливість виготовити антивідбивні поверхні сонячних елементів, які не мають аналогів. Автори роботи Єрохов В.Ю. Буджак Я.С. Гарасим І.Д. Голиборода С.М. Дружинін А.О. Кучерепа Н.І. Лук'янченко А.І. Лях-Кагуй Н.С. Мищишин В.М. Нічкало С.І. Остапів О.Ю. Островський І.П. Стасів В.М. Темірова О.Х. Ховерко Ю.М. Чекайло М.В. Шпак Д.В. Щербань Н.О. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити