Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0219U000086, 0118U006101 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення установки для дослідження нових функціональних наноматеріалів Назва етапу роботи Керівник роботи Васін Андрій Володимирович, Дата реєстрації 11-01-2019 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Створенна технічна документація модифікованої системи осадження тонких плівок методом магнетронного розпилення з можливістю керування конфігурацією магнітного поля у процесі осадження, та з використанням рухомого підкладкотримача для підвищення ступеню рівномірності плівки на підкладці, механізм поступально-обертального переміщення підкладок над магнетроном та блок живлення для магнетрону. Опис продукції Технічна документація та виготовлені вузли необхідні для створення магнетрону з можливістю зміни конфігурації магнитного полю для керування щільністю плазми і потоком іонизованих частинок на поверхню плівки яка росте. Автори роботи Русавський Андрій Вадимович Стєпанов Володимир Григорович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити