Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0219U000216, 0117U006194 , Науково-дослідна робота Назва роботи Іонно-модифікований синтез плівок оксидів перехідних металів (NiOx, VOx, ZnOx) та дослідження їх властивостей Назва етапу роботи Керівник роботи Сафрюк Надія Володимирівна, Дата реєстрації 21-01-2019 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України Опис етапу В роботі представлено результати розробки методів синтезу плівки оксидів перехідних металів (NiOx, ZnOx, VOx) для їх подальшого використання як матеріалів сенсорів детектування УФ та ІЧ випромінювання. Знайдено оптимальні технологічні умови для отримання плівок NiOх хорошої структурної якості. Підтверджено формування шару ZnO методом нарощуваня наноструктурованого ZnO на підкладенку із водних розчинів зі спектральною залежністю пропускання у спектральному діапазоні 350-420 нм. Показаний вплив дози імплантації на можливість утворення фаз в плівках VOx для росту ТКО. Опис продукції Технологія нанесення плівок оксидів перехідних металів включає в себе як магнетронне розпилення плівок так і хімічне осадження. Були оптимізовані такі параметри осадження як температура підкладки, час нанесення та тиск для отримання плівок з хорошою структурною якістю. Автори роботи Поліщук Юлія Олегівна Сабов Томаш Мар'янович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити