Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0219U001686, 0118U005338 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка «розумного» мікроелектронного сенсора для контролю вмісту вибухонебезпечних та шкідливих газів у повітрі побутових приміщень. Назва етапу роботи Керівник роботи Литовченко Володимир Григорович, Дата реєстрації 15-02-2019 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України Опис етапу Науково-технічний звіт за НДР: 26 с., 9 рис., 16 посилань. Мікроелектронні газові напівпровідникові мультисенсори нового покоління для детектування вибухонебезпечних та шкідливих газів у повітрі побутових приміщень повинні мати певні експлуатаційні характеристики: високу чутливість та селективність, термостабільність, високу швидкодію (малі часи відгуку та відновлення), стабільність електрофізичних характеристик та параметрів, що може бути досягнуто шляхом використання сучасних наноструктурованих каталітично та адсорбційно активних матеріалів, полімерних мембран для формування газочутливих електродів. З метою оптимізації характеристик сенсорних структур на горючі гази було розроблено топологію газочутливих електродів (зустрічно-гребінчастих та міандрів тонкоплівкових каталітично активних електродів з різними геометричними параметрами і диференційною схемою включення) та конструкцію газового сенсора на основі наноструктурованого Si з інкорпорованими кластерами перехідних металів (W, Ni, Pd, Cu). Виготовлено комплект шаблонів/масок для формування каталітично активних електродів сенсорних структур. Опис продукції Розроблено топологію та конструкцію мікроелектронного сенсора на вибухонебезпечні гази та комплект шаблонів/масок для формування каталітично активних електродів сенсорних структур. Виготовлено сенсорні структури з каталітично активними електродами. Автори роботи А.І. Курчак Горбанюк Т.І. Л.М. Шугаєва С.М. Мусаєв С.С. Дударенко Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити