Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0219U004285, 0116U005093 , Науково-дослідна робота Назва роботи Захист цирконієвих оболонок тепловиділяючих елементів ядерних реакторів карбідом кремнію, отримання полікристалічного кремнію відновленням тетрахлориду атомарним воднем, осадження епітаксійних структур газофазним, плазмохімічним і сублімаційним методами Назва етапу роботи Керівник роботи Широков Борис Михайлович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 24-04-2019 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України Опис етапу У роботі виконані дослідження осадження полікрісталічного та гидрогенізірованого кремнію відновленням тетрахлоріду кремнію в низькотемпературної нерівноважної високочастотної плазмі атомарного водню. Виконаний термодинамічний розрахунок відновлення молекулярним воднем тетрахлоріду кремнію і супутніх реакцій - фрагментів тетрафторіду кремнію. Показано, що енергія Гиббса для вказаних реакцій має позитивне значення і, отже, вони не можуть бути реалізовані для отримання кремнію як полікрісталічного, так і гидрогенізірованого. Виконані дослідження по діагностиці низькотемпературної нерівноважної плазми указують на можливість освіти у високочастотному розряді атомарного водню. Проведені термодинамічні розрахунки відновлення тетрахлоріда кремнію і всіх супутніх реакцій атомарним воднем указують на негативне значення енергії Гиббса, що свідчить про протікання цих реакцій з утворенням моносилана. У діапазоні 600 - 700 С був отриманий полікрісталічний кремній на кремнієвої підкладці. Цей результат може бути використаний для виробництва полікрісталічного кремнію. У широких температурних межах (250-500 С) по концентрації водню отриман гидрогенізірований кремній, який може бути використан в перетворювачах сонячної енергії та електроної техніці. Опис продукції Виконано дослідження по осадженню полікристалічного та гідрогенізованого кремнію шляхом відновлення тетрахлориду кремнію в низькотемпературній неравноважній високочастотній плазмі. Проведено термодинамічні розрахунки відновлення SiCl4 та усіх супутніх реакцій атомарним воднем, в результаті яких утворюється моносилан. Автори роботи [Семенов Микола Олександрович] Євсюков Олексій Ігоревич Бакай Катерина Сергеевна Дериземля Анатолій Миколайович Журавльов Олександр Юрьевич Зуєва Татьяна Миколаевна Капустін Віталій Леонідович Крохмаль Сергей Олександрович Мартиненко Віктор Григорович Пелипець Юрий Олександрович Радченко Володимир Іванович Стригуновський Сергей Олександрович Суща Аліна Анатольевна Хижняк Дмитрий Олександрович Хованський Микола Олександрович Широков Борис Михайлович Шиян Олександр Васильович Щербакова Валентина Володимирівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити