Реєстраційний номер
0219U100248,
0117U002831
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Газорозрядний пристрій для контролю дефектів металевих та напівпровідникових матеріалів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Защепкіна Наталія Миколаївна, Доктор технічних наук
Дата реєстрації
01-02-2019
Організація виконавець
Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського"
Опис етапу
1. Проналізовано методи та засоби газорозрядної візуалізації дефектів; 2. Вдосконалено засіб газорозрядної візуалізації дефектів у фронтальній площині на основі застосування твердого прозорого електроду; 3. Розроблено засіб телевізійного контролю дефектів поверхні об'єктів із металевих або напівпровідникових матеріалів при збудженні їх в імпульсному коронному розряді; 4. Проведено експериментальну перевірку методу та засобу телевізійного контролю поверхневих дефектів у коронному розряді.
Опис продукції
Робота виконана з метою зменшення похибок вимірювання геометричних розмірів дефектів поверхні провідників та напівпровідників при їх газорозрядній візуалізації в імпульсному коронному розряді на основі вдосконалення газорозрядного засобу застосуванням прозорого скляного електроду та зменшенням імпульсної напруги і обмеження струму.
Поставлена мета досягається шляхом вирішення таких наукових задач:
- аналіз методів та засобів газорозрядної візуалізації дефектів;
- вдосконалення засобу газорозрядної візуалізації дефектів у фронтальній площині на основі застосування твердого прозорого електроду;
- розробка засобу телевізійного контролю дефектів поверхні об’єктів із металевих або напівпровідникових матеріалів при збудженні їх в імпульсному коронному розряді;
- експериментальна перевірка методу та засобу телевізійного контролю поверхневих дефектів у коронному розряді.
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
