Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0219U101980, 0119U102869 , Науково-дослідна робота Назва роботи Виготовлення магнетронного пристрою випаровувача металів та механізму розбалансування його магнітного поля на базі постійних магнітів Назва етапу роботи Керівник роботи Лопаткін Роман Юрійович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 05-12-2019 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис етапу Виготовлено магнетронний пристрій випаровувача металів та механізм розбалансування його магнітного полю та проведено випробування їх на вакуумну герметичність та інші параметри. Обладнання встановлено на вакуумний пост типу ВУП5 замовника Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України. Під час цього проведена перевірка основних функціональних параметрів. Опис продукції По розробленій конструкторській документації було виготовлено магнетронний пристрій для розпилення металів в вакуумі на зразки та механізм розбалансування його основного магнітного поля. Пристрій розрахований на мішень ø60 мм, має охолоджувану проточною водою магнітну систему на основі самарій-кобальтових магнітів. Механізм розбалансування магнітного поля магнетронного пристрою(випаровувача) розміщений в вакуумі навколо аноду магнетрону і має можливість переміщуватись вздовж його осі. Пристрої адаптовані для роботи в складі ВУП5 під час їх модернізації. Автори роботи Варакін Олег Вікторович Лопаткін Роман Юрійович Павленко Юрій Анатолійович Чижов Ігор Григорович Шкурат Олександр Іванович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити