Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0220U100474, 0119U102210 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології чищення вакуумних поверхонь плазмою високочастотного розряду в комбінації з розрядом постійного струму. Назва етапу роботи Керівник роботи Моісеєнко Володимир Євгенович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 20-01-2020 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України Опис етапу На плазмовій установці ДСM-1 було проведено експерименти щодо визначення вакуумно-плазмових характеристик (переважно ерозії та швидкості газовиділення у вакуумі) нержавіючої сталі до та після чистки стінок вакуумної камери за допомогою жеврійного розряду (ЖР) та комбінованого жеврійно-мікрохвильового плазмового розряду (ЖМ) в атмосфері аргону. Були виміряні вольт-амперні характеристики, густина електронів (ne ~ 5108 см-3 для обох режимів) та електронна температура (Te10 еВ для режиму ЖР та 50 еВ для режиму ЖМ). Було показано, що анодна напруга розряду в комбінованому ЖМ режимі є значно нижчою (з тими ж електродними струмами), ніж у жеврійному розряді. У деяких режимах таке зниження напруги може становити до 200 В. Швидкість ерозії нержавіючої сталі 12X18H10T вимірювалася методом вагових втрат. Було показано, що ерозія в комбінованих розрядах істотно, приблизно на 70%, менша, ніж у жеврійних розрядах. Щодо очищення стінок вакуумної камери від забруднень, вимірювання проводили за рахунок швидкості газовиділення нержавіючої сталі 12Х18Н10Т з термодесорбційним зондом in situ у вакуумній камері ДСM-1. Було показано, що чистка стінок вакуумної камери жеврійним розрядом протягом 6 годин призводить до зниження швидкості газовиділення приблизно в п’ять разів. Коли стінка камери оброблялася ЖМ розрядом, починаючи з майже однакових початкових умов (анодний струм розряду такий самий), швидкість газовиділення знизилася ще більше – в 15 разів. Було проведено спектральні вимірювання плазмового випромінювання жеврійного та комбінованого розрядів. Аналіз спектрів показує зменшення співвідношення піків іонів аргону та нейтралів під час переходу від жеврійного розряду до комбінованого.  Опис продукції На плазмовій установці ДСM-1 було проведено експерименти щодо визначення вакуумно-плазмових характеристик (переважно ерозії та швидкості газовиділення у вакуумі) нержавіючої сталі до та після чистки стінок вакуумної камери за допомогою жеврійного розряду (ЖР) та комбінованого жеврійно-мікрохвильового плазмового розряду (ЖМ) в атмосфері аргону. Було встановлено, що анодна напруга розряду в комбінованому ЖМ режимі є значно нижчою (з тими ж електродними струмами), ніж у жеврійному розряді. Було показано, що ерозія в комбінованих розрядах істотно, приблизно на 70%, менша, ніж у жеврійних розрядах. Щодо очищення стінок вакуумної камери від забруднень, вимірювання проводили термодесорбційним зондом in situ. Було показано, що чистка стінок вакуумної камери комбінованим розрядом дає кращі результати, ніж жеврійним розрядом. Було розроблено, виготовлено та встановлено на Урагані-2М системи жеврійного та мікрохвильового розряду. Випробування цих систем дало добрі результати. Були проведені перші експерименти з ЖМ розрядом, які дозволили знайти умови, за яких анодна напруга ЖМ розряду суттєво знижується. Автори роботи ГЛАЗУНОВ Геннадiй Петрович ДРЕВАЛЬ Микола Борисович ЗАМАНОВ Микола Вячеславович КОВТУН Юрiй Вiкторович КОЗУЛЯ Михайло Михайлович КОНОВАЛОВ Володимир Григорович КОРОВІН Валерiй Борисович КРАМСЬКИЙ Єгор Дмитрович КРАСЮК Олександр Юрiйович КУЛИК Юлiя Сергiївна ЛИСТОПАД Вiктор Михайлович ЛОЗІН Олексiй Васильович МАЗНІЧЕНКО Сергiй Михайлович МОІСЕЄНКО Володимир Євгенович ОЖЕРЕЛЬЄВ Федiр Iванович ПАВЛІЧЕНКО Ростислав Олегович СЮСЬКО Євген Васильович ТАРАСОВ Iгор Кузьмич Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити