Реєстраційний номер
0220U101128,
0117U004855
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Фізичні принципи іонно-плазмового синтезу та керування властивостями наноструктурних складнокомпозиційних покриттів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Лісовський Валерій Олександрович, Доктор фізико-математичних наук
Дата реєстрації
03-02-2020
Організація виконавець
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
Опис етапу
Розроблена та виготовлена нова комбінована магнетронна іонно-променева система (МІПС), яка включає планарний магнетрон та джерело іонів Холлівського типу зі спільною магнітною систе¬мою. Система забезпечує незалежний контроль енергій іонів в інтервалі (10-1000) еВ та щільності струму (0,1-10) мА/см2 потоку іонів, що бомбардує зростаючу плівку зі швидкістю осадження до 3 нм/с при тиску газу (0,5 5) мТорр без істотних обмежень щодо типу газу. За допомогою систем КІПС та МІПС синтезовані покриття оксиду та дібориду танталу. Досліджено фізико-механічні властивості (мікротвердість та нанотвердість, модуль пружності та адгезійну міцність) цих плівок у аморфноподібному, аморфно-кристалічному і нанокристалічному станах та визначено оптимальні енергетичні умови формування плівок із найкращими фізико-механічними характеристиками. Встановлений взаємозв'язок нерівноважного нагріву поверхні синтезованого покриття з мікроструктурою та фізичними властивостями конденсату та, базуючись на цьому, розроблено принципи цілеспря¬мованого керування структурою та властивостями покриттів. Для умов магнетронного нанесення покриттів Al2O3 з додатковим іонним бомбардуванням побудована енергетично-структурна діаграма синтезу α- та γ–фаз.
Опис продукції
Розроблена та виготовлена нова комбінована магнетронна іонно-променева система (МІПС), яка включає планарний магнетрон та джерело іонів Холлівського типу зі спільною магнітною систе¬мою. Система забезпечує незалежний контроль енергій іонів в інтервалі (10-1000) еВ та щільності струму (0,1-10) мА/см2 потоку іонів, що бомбардує зростаючу плівку зі швидкістю осадження до 3 нм/с при тиску газу (0,5 5) мТорр без істотних обмежень щодо типу газу. За допомогою МІПС синтезовані покриття оксиду та дібориду танталу та досліджено їх властивості. Встановлений взаємозв'язок нерівноважного нагріву поверхні синтезованого покриття з мікроструктурою та фізичними властивостями конденсату та, базуючись на цьому, розроблено принципи цілеспрямованого керування структурою та властивостями покриттів.
Автори роботи
Єфименко Ніна Олександрівна
Дахов Олександр Миколайович
Дудін Станіслав Валентинович
Зиков Олександр Володимирович
Лісовський Валерій Олександрович
Юнаков Микола Миколайович
Яковін Станіслав Дмитрович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
