Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0220U101253, 0119U101491 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення та випробування модифікованого магнетрону для осадження нових функціональних наноматеріалів Назва етапу роботи Керівник роботи Васін Андрій Володимирович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 07-02-2020 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу  Проведені узгодження загальної концепції магнетронного пристрою з розбалансованим магнітним полем і відповідної технічної документації. Був виготовлений катодний вузол, який включає до себе основну магнітну систему з трьох самарій-кобальтових кільцевих магнітів діаметром 55 мм і центрального магніту діаметром 15 мм з системою проточною дистильованою водою. Діаметр мішені, яку можна встановити на катод - 60 мм. Була також виготовлена зовнішня (розбаллансуюча) магнітна система із відповідними рухомими механізмами. Випробування показали, що магнітна система магнетрону забезпечує плазмовий розряд із геометрією характерною для режиму "сильно розбалансованого магнетрону", що і було основною ціллю даного проекту. Опис продукції Був виготовлений катодний вузол, який включає до себе основну магнітну систему з трьох самарій-кобальтових кільцевих магнітів діаметром 55 мм і центрального магніту діаметром 15 мм з системою проточною дистильованою водою. Діаметр мішені, яку можна встановити на катод - 60 мм. Була також виготовлена зовнішня (розбаллансуюча) магнітна система із відповідними рухомими механізмами. Автори роботи Кисіль Дмитро Вадимович Русавський Андрій Вадимович Стєпанов Володимир Григорович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити