Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0220U101982, 0116U005846 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів у протонно-променевій літографії виготовлення тривимірних структур для фабрикації елементів рентгенівської оптики. Назва етапу роботи Керівник роботи Пономарьов Олександр Георгійович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 28-02-2020 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис етапу Проведено моделювання іонної оптики зондофомуючої системи в каналі протонно-променевої літографії та динаміки руху пучка в процесі сканування. Визначено безабераційний растр сканування сфокусованим пучком. Розроблено систему керування сфокусованим пучком в растрі сканування за заданим шаблоном. Проведено експериментальні дослідження в каналі протонно-променевої літографії. Виконано юстирування каналу, підготовлено зразки, відпрацьовано процедуру їх опромінення та обробки з метою отримання первинних малорозмірних тривимірних структур в резистивних матеріалах для фабрикації елементів рентгенівської оптики.   Опис продукції Показано, що застосування зондоформуючої системи з п'ятьма лінзами, дозволяє змінювати параметри системи. Проведено аналіз впливу точності позиціонування лінз на роздільну здатність. Розглянуто матричний метод з точки зору застосування до розрахунку оптики пучка іонів в режимі сканування. Проведено моделювання растру сканування матричним методом. Розроблена нова система керування сфокусованим пучком в процесі протонно-променевої літографії, яка є багатофункціональною системою що конфігурується програмно. Наведено опис процедури юстирування каналу протонно-променевої літографії. Автори роботи Козачок Олена В'ячеславівна Колінько Сергій Володимирович Пономарьов Олександр Георгійович Ребров Володимир Анатолійович Саливон Вадим Феліксович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити