Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0220U102138, 0118U003840 , Науково-дослідна робота Назва роботи Фізико-технічні основи формування багатокомпонентних, наноструктурованих функціональних покриттів Назва етапу роботи Керівник роботи Чугай Олег Миколайович, Дата реєстрації 09-03-2020 Організація виконавець Національний аерокосмічний університет ім. М.Є. Жуковського "Харківський авіаційний інститут" Опис етапу Об’єкт дослідження – інверсні магнетронні розпилювальні системи та фізичні властивості покриттів та кристалів. Мета роботи – створити фізико-технічні основи формування багатокомпонентних наноструктурованих функціональних покриттів. Методи дослідження – математичне моделювання, апроксимація залежностей, діелектрична спектроскопія. Результати НДР та їх новизна: 1. Проведено моделювання магнітного та електричного полів в робочій камері інверсної магнетронної розпилювальної системі. Виконана верифікація моделі і її чисельної реалізації. Одержані конфігурації полів можна використати в якості початкових умов при моделюванні тліючого розряду з використанням дифузійно-дрейфовій моделі. 2. Вперше запропонована методика апроксимації характеристик роботи інверсної магнетронної розпорошувальної системи з газовим анодом та секціонованими катодними вузлами при різних режимах. 3. Вперше обґрунтовано загальний підхід до вдосконалення системи живлення інверсної магнетронної розпорошувальної системи для формування багатокомпонентних покриттів на основі управління напругою на всіх елементів технологічного генератору від одного електричного джерела живлення. 4. Розглянуто практичні аспекти визначення структури окремого резистивного ланцюжка, типу й параметрів резисторів системи електроживлення інверсної магнетронної розпорошувальної системи з газовим анодом та секціонованими катодними вузлами. 5. Досліджено діелектричні й оптичні властивості кристалів вольфрамату кадмію. Вперше встановлено аномально високе збільшення діелектричних сталих кристалів, зумовлене утворенням скупчень точкових дефектів, включаючи дефекти з участю домішкових атомів. Опис продукції Виконано верифікацію моделі магнітного та електричного полів в робочій камері інверсної розпилювальної системи. Інформацію може бути застосовано в якості початкових умов при моделюванні тліючого розряду в рамках дифузійно-дрейфовій моделі. Вперше отримано методику апроксимації характеристик роботи інверсної магнетронної розпорошувальної системи при різних режимах. Застосовано та обґрунтовано вдосконалення системи живлення інверсної магнетронної розпорошувальної системи, що ґрунтується на управлінні напругою на всіх елементах генератору від одного джерела живлення. Розроблена практична методика визначення структури та параметрів окремих резистивних ланцюжків системи електроживлення магнетронної розпорошувальної системи з газовим анодом та секціонованими катодними вузлами. Методика верифікації апробована на синтезі кристалів вольфрамату кадмія, діелектричні і оптичні властивості яких було досліджено. Автори роботи Іщенко Євген Іванович Волошин Олексій Олександрович Колесник Володимир Петрович Кочук Сергій Борисович Литовченко Леонід Васильович Олійник Сергій Володимирович Слюсар Денис Віталійович Степанушкін Микола Петрович Чугай Олег Миколайович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити