Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0220U102177, 0117U003360 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження фізичних процесів формування розряду в джерелах з індуктивно зв’язаною плазмою низького тиску. Назва етапу роботи Керівник роботи Бугай Олександр Миколайович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 10-03-2020 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис етапу Проведені теоретичне та експериментальне дослідження можливостей покращення параметрів плазмового джерела (підвищення густини плазми в джерелі здійснюється за рахунок більш ефективного введення ВЧ-потужності в плазму в неоднорідному магнітному полі). Розроблено та проведено випробування атомно-емісійного спектрометра з індуктивно-зв’язаною плазмою (ІЗП-АЕС НТ) з використанням постійних магнітів. Розроблене ВЧ-джерело плазми з компактною магнітною системою з постійними магнітами для застосування в ІЗП-АЕС низького тиску з можливістю введення рідких проб. Для швидкісного накопичення спектрів замість фотопомножувача застосовано ПЗС-приймач TCD1304. Система підсилення, синхронізації та обробки сигналів створена на базі мікроконтролера STM32F103C8T6 ARM. Створений програмний пакет для управління детектуючої частини спектрометра. Пакет дозволяє накопичувати спектри в двох режимах: з розгорткою за часом на одній лінії (для вивчення процесів в динаміці) та в режимі поліхроматора – за довжинами хвиль. Отримання, ідентифікація та подальша обробка спектрів відбувається в автоматичному режимі.   Опис продукції Конструктивно джерело іонів складається з кварцевої трубки з розмірами 250хØ32 мм закріпленої між корпусом джерела і системою напуску за допомогою двох фланців і восьми шпильок. Корпус джерела іонів своїм фланцем під'єднується до відкачувальної системи.На двох сусідніх шпильках, за допомогою скоб розміщений індуктор у вигляді чотирьовиткової спіралі з мідного дроту Ø2 мм. Індуктор може переміщатися вздовж шпильок в деяких межах. Індуктор живиться від ВЧ-генератора. Високочастотний генератор працює з самозбудженням на частоті 27.3 МГЦ. Генератор працює при анодній напрузі 750В, струм індуктора 0,2 А, потужність 150 Вт. Генератор зібраний на базі металокерамічної лампи ГІ-7Б. На двох інших сусідніх шпильках розміщені два упору для фіксації положення магніту неодим-залізо-бор. За допомогою упорів є можливість переміщати магніт в деяких межах. Введення проби і робочого газу (Ar, He) здійснюється через капіляри з гумовими ущільнювачами через накидну гайку, корпус введення проби в трубку. Корпус введення проби і робочого газу, кварцова трубка з обох кінців мають гумові ущільнення. Автори роботи Іванюк Віктор Кузьмич Бугай Олександр Миколайович Булат Володимир Борисович Мордик Сергій Миколайович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити