Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0221U000045, 0120U104716 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка конструкторської документації на конструкційні компоненти вузлів системи несбалансованого магнетрону для вакуумної камери ВУП-5 Назва етапу роботи Керівник роботи Коломієць Володимир Миколайович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 02-01-2021 Організація виконавець Інститут прикладної фізики Національної академії наук України Опис етапу Були розроблені комплекти конструкторської документації на елементи вакуумної камери ВУП-5: механізм регулятора швидкості відкачування вакуумної камери напилювальної системи; пристрій захисту устаткування камери від напилення при технологічному включенні магнетрону або катоду (мішені) при включенні декількох магнетронів; механізм автоматичного переміщення розбалансуючого магніту магнетрону з індикатором його положення та блоком живлення. Опис продукції Автори роботи Ігнатенко Сергій Миколайович Павленко Юрій Анатолійович Самойлов Павло Євгенович Чижов Ігор Григорович Шкурат Олександр Іванович Додано в НРАТ 2021-01-02 Закрити