Реєстраційний номер
0221U102595,
0118U000271
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Двовимірні періодичні наноструктури кремнію для МЕМС-сумісних інтегрованих мікроперетворювачів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Єрохов Валерій Юрійович, Доктор технічних наук
Дата реєстрації
06-02-2021
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Завдяки розвинутим технологічним засадам використання методів LPCVD, CVD, MacEtch, створено нанотекстуровані матеріали у вигляді мікропірамід Si та SiNW, що демонструють всенаправлене захоплення світла внаслідок багатократного відбивання, що зумовлює підвищення оптичних характеристик, і може широко застосовуватись в сонячних елементах, фотодетекторах та інших оптоелектронних пристроях. На основі виявлених фізичних ефектів та закономірностей мікро- та наноструктур кремнію, сумісних з існуючою кремнійовою технологією зінтегрованих пристроїв мікроелектроніки, отриманих в результаті дослідження їх електрофізичних і термоелектричних властивостивостей у широкому інтервалі температур, розроблено високоефективні термоелектричні перетворювачі. Упровадження розроблених МЕМС-сумісних інтегрованих мікроперетворювачів сприятиме розвитку таких галузей як спінтроніка і сенсорика.
Опис продукції
Автори роботи
Буджак Ярослав Степанович
Гарасим Ірина Данилівна
Голиборода Сергій Миколайович
Дружинін Анатолій Олександрович
Кучерепа Назарій Ігорович
Лук'янченко Антон Вікторович
Лях-Кагуй Наталія Степанівна
Мищишин Володимир Михайлович
Остапів Олександр Юрійович
Островський Ігор Петрович
Стасів Василь Михайлович
Темірова Олена Хадзиметівна
Ховерко Юрій Миколайович
Чекайло Микола Володимирович
Шпак Денис Олександрович
Щербань Наталія Олексіївна
Додано/оновлено в НРАТ
2021-02-06
