Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0221U106057, 0120U103199 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка «розумного» мікроелектронного сенсора для контролю вмісту вибухонебезпечних та шкідливих газів у повітрі побутових приміщень Назва етапу роботи Керівник роботи Литовченко Володимир Григорович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 04-10-2021 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України Опис етапу Виготовлено зразки з плівкою поруватого кремнію на поверхні монокристалічного кремнію р- та n-типів за допомогою методу електрохімічного розчинення. Введено у пори кремнію мікрочастинки перехідних металів (Cu, Ni, Mo, W тощо) за допомогою методу магнетронного розпилення та наступних термічних обробок при температурі 450С – 600С. Досліджено чутливість даних сенсорних структур (porSi/Ni і porSi/Mo) до діоксиду вуглецю у діапазоні концентрацій 100-1000 ppm при кімнатній температурі у повітрі. Показано, що дані структури на основі поруватого Si (j = 30 mA/см2) з нанокластерами Ni та Mo демонструють найбільший сигнал відгуку в залежності від концентрації діоксину вуглецю у повітрі. Опис продукції Автори роботи Горбанюк Тетяна Іванівна Курчак Анатолій Іванович Литовченко Володимир Григорович Мусаєв Сергій Мусаєвич Шугаєва Любов Михайлівна Додано в НРАТ 2021-10-04 Закрити