Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0222U003518, 0119U100510 , Науково-дослідна робота Назва роботи Прилади і обладнання для створення захисних багатошарових покриттів з використанням адитивних технологій Назва етапу роботи Керівник роботи Коломієць Володимир Миколайович, Кандидат фізико-математичних наукЛопаткін Роман Юрійович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 08-04-2022 Організація виконавець Інститут прикладної фізики Національної академії наук України Опис етапу Розроблено повний комплект конструкторської документації та створено магнетрон діаметром мішені 60 мм з механізмом розбалансування його магнітного поля на базі постійних магнітів. Розроблено імпульсний (частота до 100 кГц) блок живлення потужністю 1 кВт для магнетронного розпилення матеріалів. Освоєно та успішно проведено випробування на установці ВУП-5М технології магнетронного розпилення імпульсами високої потужності (HiPIMS) для напилення якісних захисних покриттів. Розроблено блок живлення для іонно-променевого травлення підкладинок в середовищі аргону. Створено зонд Ленгмюра для дослідження параметрів плазми магнетронного розряду та розроблено електричну схему блока живлення зонду. Розроблено та створено кварцовий вимірювач товщини для визначення товщини покриття безпосередньо в процесі його отримання. Опис продукції Автори роботи Возний Віталій Іванович Канівець Володимир Миколайович Кононенко Ірина Миколаївна Кравченко Сергій Миколайович Лифар Сергій Іванович Павленко Юрій Анатолійович Шкурат Олександр Іванович Додано в НРАТ 2022-04-08 Закрити