Реєстраційний номер
0223U001013,
0121U111717
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Квазіоптичне масштабне моделювання впливу радіаційно-індукованих локалізованих дефектів в металах і сплавах на дані оптичної еліпсометрії
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Коленов Іван Вікторович,
Дата реєстрації
24-01-2023
Організація виконавець
Інститут електрофізики і радіаційних технологій Національної академії наук України
Опис етапу
Вивчено вплив поверхневих дефектів, таких як локалізовані дефекти, характерні для полікристалічних матеріалів, що піддаються іонному розпиленню, на дані оптичної еліпсометрії. Показано, що еліпсометрія нечутлива до локалізованих дефектів у формі паралелепіпеда, якщо його розмір порівнянний або менший за довжину хвилі. Спектральні дослідження показали, що зі зменшенням розміру дефекту відносно довжини хвилі зондуючого випромінення еліпсометрія стає менш чутливою, хоча рефлектометрія чутлива до нього. Розглядалися дефекти ямкового типу (поглиблення на поверхні). Показано, що якщо розмір ямки менший за довжину хвилі, еліпсометрія не «бачить» дефект. З іншого боку, рефлектометрія однозначно фіксує зниження відбивної здатності порівняно з бездефектною поверхнею. Також було виявлено, що рефлектометрія не дуже чутлива до глибини ямки. Еліпсометрія більш чутлива до глибини ямки майже у всіх досліджених випадках, за винятком випадків, коли розмір дефекту значно менший за довжину хвилі. Вперше проведено дослідженння можливісті використання субтерагерцової еліпсометрії з робочою частотою f = 0,14 ТГц для неруйнівного безконтактного визначення інтегральних значень товщини, структури та складу покриттів, отриманих за допомогою мікро-плазменного оксидуквання (МПО). Запропонована модель, що адекватно описує структуру МПО покриттів на всіх стадіях технологічного процесу. Це дає можливість використовувати еліпсометрію для неруйнівного безконтактного експрес-контролю стану цих покриттів під час виробництва, не вдаючись до додаткових більш складних аналітичних методів (XRD, SEM тощо). Розвинуто методи чисельного моделювання утворення дефектів типу дислокаційних петель при повільному наборі доз та моделювання механізмів зміни рельєфу в мішенях, що опромінюються концентрованими потоками енергії.
Опис продукції
Автори роботи
Старцев Олександр Анатолійович
Троценко Олег Геннадійович
Додано/оновлено в НРАТ
2023-01-24
