Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0223U004872, 0123U102774 , Науково-дослідна робота Назва роботи Модифікація поверхні твердого тіла під дією плазми та пучків заряджених частинок Назва етапу роботи Керівник роботи Береснєв Вячеслав Мартинович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 06-12-2023 Організація виконавець Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна Опис етапу  Отримані та досліджені багатокомпонентні багатошарові покриття TiSiN/NbN, (TiZrSiY)N/NbN, сформовані методом вакуумно-дугового осадження при одночасному розпиленні двох катодів різного складу. Визначений вплив величини негативного потенціалу зсуву на підкладці та тиску робочого газу в камері на структурно-фазовий склад, термічні, механічні та адгезійні характеристики покриттів. Встановлено, що при формуванні покриттів TiSiN/NbN збільшення негативного потенціалу зсуву від 100 В до 200 В при тиску робочого газу ~ 0,53 Па призводить до збільшення параметрів кристалічних ґраток TiN і δ-NbN, розмірів кристалітів і рівня мікронапружень, а також до формування переважаючого росту текстури в площині (200). Зафіксовані у покритті (TiZrSiY)N/NbN фази TiN і NbN є полікристалічними, розміри зерен можна порівняти з розмірами шарів. У шарах спостерігається стовпчаста структура з переважною орієнтацією (111). Визначено, що твердість та модуль Юнга сформованих покриттів залежить від товщини шарів і сягають показників Н=39,7 ГПа та Е=438 ГПа відповідно у покриттях з найменшою з отриманих товщиною шарів. Опис продукції Автори роботи Азарєнков Микола Олексійович Горох Денис Валерійович Гречко Ярослав Олегович Лісовський Валерій Олександрович Лесник Ігор Станіславович Литовченко Сергій Володимирович Мазілін Богдан Олександрович Осмаєв Руслан Олегович Додано в НРАТ 2023-12-06 Закрити