Знайдено документів: 1
Керівник: Моісеєнко Володимир Євгенійович. Дослідження високочастотного створення та нагріву плазми, комбінованих розрядів і розрядів постійного струму для обробки стінок вакуумних камер та вдосконалених методів діагностики плазми і стану вакуумних поверхонь.. (Етап: ). Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" Національної академії наук України. № 0224U000616
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-17
