Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0224U001082, 0123U101196 , Науково-дослідна робота Назва роботи Мас-спектрометричні дослідження в технології виготовлення багатоелементних ІЧ-фотоприймачів на основі антимоніду індію Назва етапу роботи Керівник роботи Дубіковський Олександр Володимирович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 17-01-2024 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України Опис етапу В процесі виготовлення фотодіодів на основі InSb діелектричне покриття поверхні платівок може використовуватися в якості капсулюючого покриття при відпалі іонно-імплантованих структур та пасивуючого покриття діодної структури. Досліджено процеси пасивації діодних структур і показано, що оптимальними покриттями є плівки оксінітріду кремнію. Оптимізовано технологію осадження оскінітрідних плівок за допомогою масспектрометричного аналізу. Розроблено технологію та виготовлено експериментальні зразки ІЧ фотоприймачів для ділянки спектру 3-5 мкм. Опис продукції Автори роботи Дубіковський Олександр Володимирович Додано в НРАТ 2024-01-17 Закрити