Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0224U032848, (0123U103494) , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка новітньої технології виготовлення кремнієвого лавинного фотодіода для ближньої інфрачервонної області спектру Назва етапу роботи Розробка технологічного маршруту та виготовлення експериментальних лавинних фотодіодів Керівник роботи Мельник Віктор Павлович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 09-12-2024 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України Опис роботи Метою проекту є розробка нової конструкції та оригінальної технології виготовлення кремнієвого лавинного фотодіоду з робочою довжиною хвилі поглинання – 1,06μm і чутливістю не гірше 60А/Вт. Підготовка технічної документації для організації виробництва цих фото- приймальних пристроїв на ЦКБ «Ритм». Опис етапу В рамках другого етапу проекту розроблена конструкторська документацію кристала ЛФД та опрацювана технологія виготовлення ЛФД з використанням полікремнійового емітера та імплантації бору та фосфору, а також виготовленні експериментальні зразки, які випробуванні спільно з ЦКБ «Ритм». ЦКБ Ритм має дільницю замкнутого циклу дифузійно-планарної технології та провадить виготовлення p-i-n фотодіодів. Технологія може бути адаптована для виготовлення лавинних фотодіодів. Додатковими операціями була імплантація фосфора та бора, які на початковому етапі впровадження можуть виконуватися в Інституті фізики напівпровідників НАН України. Опис продукції Автори роботи Гора Сергій Теофілович Гудзь Руслан Григорович Дубіковський Олександр Володимирович Коротєєв Вадим В'ячеславович Косуля Олександр Валерійович Кульбачинський Олександр Анатолійович Максименко Зоя Василівна Мельник Віктор Павлович Оберемок Олександр Степанович Сапон Сергій Васильович Сидор Олег Миколайович Шумиляк Михайло Павлович Додано в НРАТ 2024-12-09 Закрити