Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0225U002908, (0120U102219) , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка методики діагностики багатошарових нанорозмірних структур з використанням методу часопролітної мас-спектрометрії Назва етапу роботи Розробка методики діагностики багатошарових нанорозмірних структур з використанням методу часопролітної мас-спектрометрії Керівник роботи Романюк Борис Миколайович, д.ф.-м.н. Дата реєстрації 16-04-2025 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України Опис роботи Розробка методики діагностики домішкового складу нанокристалічних структур та процесів іонно-стимульованої трансформації міжфазних границь в багатошарових нанорозмірних структурах з використанням методу часопролітної мас-спектрометрії, а також зміни ізотопного складу наноматеріалів при дії потужних енергетичних пучків. Опис етапу Визначенно коефіцієнти елементної чутливості при аналізі шаруватих структур методом часопролітної масспектроскопії (TOF-SIMS) з використанням тестових зразків ZnO з імплантованими домішками рідкоземельних елементів. Виготовлено тестові зразки для калібровки масспектрометра шляхом імплантації актуальних домішок в пластини кремнію. Розроблена методика аналізу границь розділу багатошарових нанорозмірних структур AlGaN/GaN та Mo/Si після іонної-променевої модифікації та відпалів, а також після іонно-стимульованого перемішування в структурах Al/GaN при імплантації іонів Ar+ та Kr+ з метою формування світловипромінюючих гетероструктур AlGaN/GaN. За рахунок аналізу розподілу кластерних іонів проведені дослідження формування сіліцідних фаз на границях нанокластерів металів на поверхні кремнію та механізмів накопичення домішок на границях нанокристалів, а також зміна ізотопного складу наноструктурованих матеріалів при дії високо інтенсивних іонних пучків. Опис продукції Автори роботи Дубіковський Олександр Володимирович Мельник Віктор Павлович Оберемок Олександр Степанович Романюк Борис Миколайович Сабов Томаш Мар'янович Федулов Віктор Васильович Додано в НРАТ 2025-04-16 Закрити