Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0299U001876, 0197U018178 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробити промислову технологію виробництва трихлосилану. полікристалічного та монокристалічного кремнію для отримання обсяжних монокристалів d 150-200 мм та обладнання для виготовлення з них пластин Назва етапу роботи Керівник роботи Трубицин Ю.В., Дата реєстрації 19-04-2001 Організація виконавець Інститут титану Опис етапу Об'єкт досліджень -технологія механічної обробки об'ємних монокристалів кремнію d 150-200мм. Мета-розробити технологію та обладнання для одержання хімічно і механічно підготовленних поверхонь монокристалів, а також тестових шайб для вимірювання електрофізичних та структурованих параметрів. Методи досліджень-комплексний аналіз науково-технічної і патентної інформації. Розробка технології обладнання механічної обробки об'ємних монокристалів, розробка алгоритмів контролю та вимірювань, технологію та устаткування для механічної обробки монокристалів кремнію d150-200мм, підготовлена технологічна інструкція, досліджено особливості електрофізичних і структурних параметорів об"емних монокристалів кремнію, одержаних методом Чохральского. Галузь використання:виробнийтво крупногабаритного монокристалічного кремнію методом вирощування по Чохральському Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити