Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0300U000828, 0100U003842 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології та вакуумного устаткування нового покоління для формування наноструктур методом напилення в вакуумі Назва етапу роботи Розробка блок схеми, алгоритму роботи та блоку управління для вакуумної установки Керівник роботи Лiхошва В.П., Дата реєстрації 28-08-2000 Організація виконавець Мале Державне Виробничо Впроваджувальне Пiдприємство "ПЛАЗЕР" Опис етапу Розроблена блок-схема установки для синтезу багатошарових сплавів з керованим складом і структурою. При розробці установки використовуються електроно-променевий метод отримання тонких плівок та метод магнитного розпилення. До складу установки входять такі основні системи: електроно-променевого розпилення, магнетронного розпилення, вакуумна, мас-спектрометра, напуску робочого газу, охолодження та нагріву Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити