Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0300U002164, 0198U005487 , Науково-дослідна робота Назва роботи Мікромеханічні властивості напівпровідникових структур та сенсори тиску на їх основі Назва етапу роботи Виготовлення сенсорів з оптимізованими параметрами та вивчення їх характеристик у широкому діапазонів зовнішніх впливів Керівник роботи Марончук Ігор Євгенович, Дата реєстрації 20-04-2000 Організація виконавець Херсонський державний технічний університет Опис етапу Об'єктом дослідження є напівпровідникові епітаксійні структури і сенсори тиску на їх основі. Мета роботи - дослідження мікромеханічних та електрофізичних властивостей гетероструктур широкозонних сполучень А3В5 і кремнію і створення на їхній основі сенсорів тиску. У результаті досліджень створені установки для виготовлення напівпровідникових эпітаксійних шарів і низькорозмірних структур, виготовлені датчики тиску і досліджені їхні характеристики. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити