Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0300U005081, 0197U013382 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка модуля високочастотного живлення МВ-1,5 Назва етапу роботи Розробка повного комплекту робочої документаціі Керівник роботи Батухтін І.М., Дата реєстрації 19-12-2000 Організація виконавець Відкрите акціонерне товариство "Selmi" Опис етапу В ході роботи розроблено модуль високочастотного живлення МВ-1,5, який призначається для одержання високочастотної енергіі (ВЧ) в установках напилювання та травлення тонкоплівкових покриттів, іонної очистки діелектричних виробів в плазмі ВЧ розряду. Модуль дозволяє здійснити живлення розпилювальної системи струмом ВЧ заданної потужності, рівень якої в процесі розпилення підтримується незмінним, підвести ВЧ зміщення до виробу в установках плазменного нанесення покриття.Області застосування: мікроелектроніка, фізика твердого тіла, матеріалознавство. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити