Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0301U000090, 0198U004414 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технологій та устаткування для синтезу багатошарових поверхневих сплавів з керованим складом і структурой Назва етапу роботи "Розробка експериментально-конструкторської документації устаткування та технології виготовлення багатошарових поверхневих сплавів з керованим складом і структурою". Керівник роботи Погорілий Анатолій Миколайович, Дата реєстрації 18-01-2001 Організація виконавець Інститут магнетизму НАН України Опис етапу В 2000 р. були виконані експериментально-конструкторські та науково-дослідні роботи: - розроблені робочі креслення стійки робочої вакуумної камери та систем високочастотного магнетронного та електронно-променевого напилювання; - досліджений вплив умов збудження високочастотного розряду при низькому тиску на ефективність процесу генерації плазми в парах напилюваної речовини; - проведене макетування іонно-плазмової системи іонізації потоку парів робочої речовини джерела електронно-променевого напилювання покриттів та розроблені рекомендації по конструюванню цієї системи; - вивчені властивості покриттів, одержаних в різних умовах при магнетронному розпиленні мішеней; - змакетовані вузли вакуумної установки для синтезу багатошарових плівок з керованим складом і структурою; - розроблена технологія виготовлення багатошарових плівок і вивчені їх властивості; - розроблені окремі технічні завдання на проектування різних вузлів установки для виготовлення багатошарових поверхневих сплавів з керованим складом і ст руктурою та розроблені рекомендації по режимах їх роботи. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити