Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0302U005201, 0100U003301 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження умов формування потоків заряджених частинок низьких та середніх енергій, методів керування їх параметрами та взаємодії синтезованих потоків з поверхнями твердих тіл Назва етапу роботи Дослідження методу керування потоками іонів металу в умовах імпульсного випарювання, розрядних характеристик комбінованого магнетронного ВЧ-індукційного та тліючого розряду та ефектів зростання новоутворень Керівник роботи Фареник В.І., Дата реєстрації 22-04-2002 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження — газові розряди у постійному та ВЧ-електричному комбінованих полях; низькоенергетичні іонні та електронні потоки, що можуть використовуватися у вакуумно-плазмових технологіях осадження простих та синтезованих покриттів; поверхня твердого тіла під дією низькоенергетичних іонних потоків. Мета роботи — дослідження процесів генерації заряджених частинок у комбінованому магнетронному — ВЧ-індукційному розряді, методів керування потоками заряджених та нейтральних частинок в умовах роздільної зони генерації плазми і формування потоків та процесів зародження і зростання трьохвимірових тонкоплівкових структур при взаємодії синтезованих потоків з поверхнею твердого тіла. Методи дослідження: експериментальні дослідження розрядних характеристик плазмових систем, параметрів плазми та енергетичних спектрів іонних та електронних потоків, дослідження фізико-хімічних властивостей тонкоплівкових структур. У результаті виконання другого етапа роботи було проведено експериментальне та теоретичне дослідження методу керування потоками іонів металу в умовах імпульсного випарювання. Досліджені умови формування подвійного електричного шару на фронті щільної анодної плазми у випадку термічного випару матеріалу анода під впливом електронного пучка в пристроях із плазмовим емітером електронів. Вивчено ефекти зростання новоутворень у вигляді листів на поверхні твердого тіла під час розпилення потоками заряджених та нейтральних атомарних частинок. Експериментально досліджено вплив потоків заряджених та нейтральних частинок на біологічні об'єкти, а також ефективність плазмової стерилізації медичних об'єктів в ВЧ ємнісному розряді. З'ясовано умови, при яких в ВЧ ємнісному газовому розряді низького тиску в повітрі може ефективно проводитися процес плазмової стерилізації медичного інструмента. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити