Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0302U005256, 0102U001926 , Науково-дослідна робота Назва роботи Рентгенівська оптика для нанотехнології Назва етапу роботи Еволюція змішаних зон на сусідніх межах поділу в дзеркалах Mo-Si в залежності від товщини шару Мо та температури відпалу Керівник роботи Кондратенко Валерій Володимирович, Дата реєстрації 23-05-2002 Організація виконавець Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут" Опис етапу Запропонована нова єлектроно-мікроскопічна методика. Встановлено, що товщина аморфної перемішаної зони задається досконалісттю Мо шару. При товщині Мо більш ніж 2.5 нм структура Мо вдосконалюється рекристалізацією Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити