Керівник: Семенов О.В.. Дослідження процесів низькотемпературного утворення , модифікації та властивостей нанокристалічних плівок на основі карбіду кремнію. (Етап: Вивчити процеси іоно-плазмового низькотемпературного осадження плівок SiC з різними структурними станами та встановити зв'язок між умовами осадження SiC плівок та їх структурним станом і властивостями).
НДВ "Оптичнi та конструкцiйнi кристали" НТК "Iнститут монокристалiв". № 0304U001686
Оновлено: 2026-11-08