Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0304U004153, 0103U004190 , Науково-дослідна робота Назва роботи Теоретичне та експериментальне дослідження процесів плазмохімічного формування тонкоплівкових матеріалів з іонною провідністю Назва етапу роботи Експериментальні дослідження процесу плазмохімічного формування покриттів з іонною провідністю Керівник роботи Сагалович В.В., Дата реєстрації 25-03-2004 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження - з'єднання з іонною провідністю та процеси плазмохімічного формування покриттів з іонною провідністю. Мета роботи - вивчення умов плазмохімічного формування плівкових матеріалів з іонною провідністю. Метод дослідження - експериментальне визначення параметрів процесу формування покриттів різного складу при реактивному магнетронному напиленні. Проведено розгляд властивостей окислу цирконію як іонного провідника з точки зору особливостей будови його кристалічної решітки, дифузійних процесів, впливу домішок на дефектну структуру. Показано, що структура, склад і, значить, фізико-механічні характеристики плівкових матеріалів із ZrO2 суттєво залежать від умов їх одержання та експлуатації. Це дозволяє, вибираючи належним чином параметри процесів формування покриттів, змінювати їх електропровідність на декілька порядків, одержувати високотемпературні фази при низьких температурах. Проведена модернізація установки ВУП-5М дала змогу використовувати її і для реалізації процесів реактивного магнетронного напилення, а застосування більш потужного джерела живлення магнетрону дозволило зробити стабільною роботу магнетрону в умовах виникнення мікро дугових розрядів великої інтенсивності на мішені. Визначена область параметрів роботи на модернізованій установці ВУП-5М, які при реактивному магнетронному розпиленні цирконієвої мішені в сумішах інертного газу аргону і реакційного газу кисню забезпечують формування покриттів ZrOx. Результати НДР використані при визначенні параметрів оптимізації процесів реактивного магнетронного напилення покриттів у технологічних розробках та подальших дослідженнях, спрямованих на одержанні покриттів з наперед заданими властивостями. Прогнозні припущення щодо розвитку об'єкта дослідження-оптимізація процесів одержання покриттів з наперед заданими властивостями. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити