Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0304U004193, 0103U004209 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів генерації та методів керування комбінованими потоками заряджених та нейтральних частинок в іонно-плазмових системах низького тиску Назва етапу роботи Дослідження комбінованого магнетронного — ВЧ індукційного розряду низького тиску, процесів формування компенсованих потоків іонів та модифікації поверхні катодів Керівник роботи Фареник В.І., Дата реєстрації 26-03-2004 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження: незбалансований магнетронний розряд, газовий розряд з полим катодом, газові розряди у схрещених постійному електричному та магнітному полях, поверхня твердого тіла під дією низькоенергетичних іонних потоків. Мета роботи: дослідження процесів генерації потоків заряджених частинок в умовах низького тиску, формування рельєфу поверхні катода у магнетронному розряді та вплив рельєфу на вольт-амперні характеристики розряду. Методи дослідження: експериментальні дослідження газових розрядів низького тиску в іонно-плазмових системах та розрядних характеристик магнетронних розпилювальних систем. Досліджені умови існування магнетронного розряду при низькому тиску робочого газу. Виміряні характеристики незбалансованого магнетронного розряду, що дозволяють отримувати покриття більш високої якості. Створено та виготовлено джерело іонів на основі розряду з полим катодом. Визначені розрядні параметри пристрою, залежності напруги збудження полого катоду від сорту робочого газу та тиску у робочій камері. Наведені дані про величину іонного струму та середньої енергії іонів. Встановлено, що формування мікрорельєфу на поверхні катода зводить до зростання іонно-електронної емісії за рахунок появи граней на поверхні катоду, що знаходяться під кутом більщ 0 град. до потоку іонів робочого газу; зростання виходу автоемісії завдяки зростання висоти конусів росту, які мають збільшення висоти завдяки процесу конденсації низько енергетичної компоненти іонів матеріалу мішені на верхівку конусу, а також при "загостренні" інших неоднорідностей рельєфу іонами, що розпилюють поверхню. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити