Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0304U004860, 0104U009358 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка високочастотного генератора для установки плазмово-фотостимульованого напилювання плівок з надтвердих матеріалів Назва етапу роботи Розробка високочастотного генератора для установки плазмово-фотостимульованого напилювання плівок з надтвердих матеріалів Керівник роботи Батурін Володимир Андрійович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 09-11-2004 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис етапу Обєктом дослідження є фізичні прилади для здійснення процесу катодного розпилювання матеріалів у низькотемпературній плазмі газового високочастотного розряду. У процесі роботи проводилися теоретичні та експериментальні дослідження високочастотних характеристик магнетронного розпилювача МП-3, способів узгодження ВЧ генератора з навантаженням, оптимізація модулів ВЧ генератора. Як результат роботи створено дійчий зразок ВЧ генератора з ефективною системою стабілізації рівня потужності в навантаженні і допоміжні пристрої, необхідні для його налагодження і комплексних випробувань Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити