Search academic texts

Information × Registration Number 0304U004861, 0104U009357 , R & D reports Title Refinement of the conditions for deposition of Al2О3 dielectric coatings using magnetron techniques and finishing the ion-plasmf system elements to perform ionization of the electron-beam source vapours popup.stage_title Відпрацювання умов нанесення діелектричних покриттів Al2О3 магнетронним методом та елементів конструкції іонно-плазмової системи для іонізації парів джерела електронно-променевого випаровування Head Baturin Vladimir A, Кандидат фізико-математичних наук Registration Date 09-11-2004 Organization Applied Physics Institute NAS of Ukraine popup.description2 Studied were the inductive discharge characteristics vs the gas-discharge chamber geometry and working material pressure. Recommendations were developed concerning design of the plasma-vapor system for the ionization of vapors from the electron-beam evaporation source5635 Product Description popup.authors popup.nrat_date 2020-04-02 Close