Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0305U001519, 0105U001168 , Науково-дослідна робота Назва роботи Проведення досліджень по розробці способу формування гострофокусованого електронного пучка на технологічній установці ЦБА-21 Назва етапу роботи Проведення досліджень по розробці способу формування гострофокусованого електронного пучка на технологічній установці ЦБА-21 Керівник роботи Коваленко Володимир Миколайович, Дата реєстрації 05-03-2005 Організація виконавець Київська філія закритого акціонерного товариства "НАУКА" Опис етапу Розробка спрямована на розвиток та підтримку на сучасному високому науково технічному рівні одного з найважливіших елементів мікроелектронної технології - літографії з субмікронною та нанометровою розподільчою здатністю, а також створення умов для її подальшого застосування у виробництві мікроелектронних приладів нового покоління. Розробка технологічних методів формування субмікронних та нанометрових структур буде здійснюватися удосконаленням методів формування гостросфокусованих електронних та іонних пучків, створенням програм управління ними, а також дослідженням механізмів взаємодії пучків з тонкими плівками металів, напівпровідників і діелектриків. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити